廢氣處理設備，主要是指運用不同工藝技術，通過回收或去除、減少排放尾氣的有害成分，達到保護環境、凈化空氣的一種環保設備，讓我們的環境不受到污染。

廢氣處理設備低溫等離子體處理過程如下：

　　等離子體就是處于電離狀態的氣體，其英文名稱是plasma，它是由美國科學 muir，于1927年在研究低氣壓下汞蒸氣中放電現象時命名的。等離子體由大量的子、中性原子、激發態原子、光子和自由基等組成，但電子和正離子的電荷數必須體表現出電中性，這就是"等離子體"的含義。等離子體具有導電和受電磁影響的許多方面與固體、液體和氣體不同，因此又有人把它稱為物質的第四種狀態。

　　根據狀態、溫度和離子密度，等離子體通常可以分為高溫等離子體和低溫等離子體(包子體和冷等離子體)。其中高溫等離子體的電離度接近1，各種粒子溫度幾乎相同系處于熱力學平衡狀態，它主要應用在受控熱核反應研究方面。而低溫等離子體則學非平衡狀態，各種粒子溫度并不相同。其中電子溫度( Te)≥離子溫度(Ti)，可達104K以上，而其離子和中性粒子的溫度卻可低到300~500K。一般氣體放電子體屬于低溫等離子體。

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